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特點(diǎn)輕量、緊湊，在標(biāo)準(zhǔn)品種尺寸小。適用於實(shí)驗(yàn)室研究室的小型真空設(shè)備中。特別適用在半導(dǎo)體制造的濺射工藝裝置和小規(guī)模的裝置上。可以多臺(tái)運(yùn)行（大3臺(tái)）?？梢赃_(dá)到超高真空（10-8Pa以下）。日本愛發(fā)科標(biāo)準(zhǔn)低溫真空泵CRYO-U4H維修

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ULVAC的ULK型油擴(kuò)散泵運(yùn)用了長(zhǎng)年的研究成果與豐富的製造經(jīng)驗(yàn)所設(shè)計(jì)而成的。運(yùn)用到了眾多高真高空設(shè)備中，它的實(shí)用性得到了非常高的評(píng)價(jià)。愛發(fā)科油擴(kuò)散真空泵PFL系列PFL-22維修保養(yǎng)

ULVAC的ULK型油擴(kuò)散泵運(yùn)用了長(zhǎng)年的研究成果與豐富的製造經(jīng)驗(yàn)所設(shè)計(jì)而成的高臨界背壓小型高真空排氣泵。日本愛發(fā)科油擴(kuò)散真空泵 ULK 系列維修保養(yǎng)

采用數(shù)碼5軸控制的磁力軸承的復(fù)合翼狀渦輪分子泵。UTM-FH，UTM-FW通過(guò)數(shù)碼5軸控制磁懸軸承的采用，實(shí)現(xiàn)高功能·高可靠性·節(jié)約能源對(duì)應(yīng)等優(yōu)勢(shì)。愛發(fā)科數(shù)碼磁力軸承型渦輪分子真空泵維修