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日本愛發(fā)科標(biāo)準(zhǔn)低溫真空泵CRYO-U6H維修保養(yǎng)?

標(biāo)準(zhǔn)低溫泵 [6型]
CRYO-U6H

特點(diǎn)

• 能發(fā)揮4型的低溫泵的高排氣特性。
• 高排氣速度對(duì)于排氣效率與生產(chǎn)性提高都能做出貢獻(xiàn)。
• 特別適用在半導(dǎo)體制造的濺射工藝裝置和小規(guī)模的裝置上。
• 1臺(tái)壓縮機(jī)可以支持4臺(tái)低溫泵同時(shí)運(yùn)作。
• 可以按照用途的不同進(jìn)行設(shè)計(jì)、制作。
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外形尺寸 (單位:mm)

標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格

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