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產(chǎn)品展示
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產(chǎn)品名稱: 日本愛發(fā)科標準低溫真空泵CRYO-U22P維修
產(chǎn)品時間: 2019-02-10
產(chǎn)品型號: CRYO-U22P CRYO-U22WB
產(chǎn)品特點: 愛發(fā)科低溫真空泵、愛發(fā)科旋片泵、愛發(fā)科真空計。
日本愛發(fā)科標準低溫真空泵CRYO-U22P維修

日本愛發(fā)科標準低溫真空泵CRYO-U22P維修 的詳細介紹

標準低溫泵 [22型]
CRYO-U22P

vap

 

外形尺寸 (單位:mm)


日本愛發(fā)科標準低溫真空泵CRYO-U22P維修?

    標準規(guī)格


    日本愛發(fā)科標準低溫真空泵CRYO-U22P維修?

    排氣速度(20℃)氮氣L/s11,500
    氫氣14,000
    氬氣9,700
    水39,000
    到達壓力Pa(Torr)10-7(10-9)
    大流量氬氣Pa?L/s(Torr?L/s)1.7×103(12.8)
    氫氣5.0×102(3.7)
    排氣容量氬氣Pa?L(Torr?L)5.8×108(4.4×106)
    氫氣6.0×106(4.5×104)
    冷卻降下時間
    (電力循環(huán))    		min(Hz)180/170(50/60)
    吸氣口法蘭UVG-550
    壓縮機裝置C30PVRT
    質量Kg115.0

    *維護間隔：16,000小時

    標準低溫泵 [22型]
    CRYO-U22WB

    vap

     

    外形尺寸 (單位:mm)

      標準規(guī)格

      排氣速度(20℃)氮氣L/s13,000
      氫氣16,500
      氬氣11,000
      水39,000
      到達壓力Pa(Torr)10-7(10-9)
      大流量氬氣Pa?L/s(Torr?L/s)3.5×103(26)
      氫氣1.3×103(9.6)
      排氣容量氬氣Pa?L(Torr?L)8.1×108(6.1×106)
      氫氣8.5×106(6.4×104)
      冷卻降下時間
      (電力循環(huán))      		min(Hz)165/150(50/60)
      吸氣口法蘭UVG-550
      壓縮機設置C30PMVRT×1
      質量Kg125.0

      *維護間隔：16,000小時

      設備介紹

      標準低溫泵 [22型]
      CRYO-U22H

      vap

       

      特點

      • 適用于大型成膜裝置。
      • 擁有的排除水蒸汽的性能。

      外形尺寸 (單位:mm)

        標準規(guī)格

        排氣速度(20℃)氮氣L/s17,000
        氫氣25,000
        氬氣14,000
        水39,000
        到達壓力Pa(Torr)10-7(10-9)
        大流量氬氣Pa?L/s(Torr?L/s)4.1×103(31)
        氫氣1.3×103(9.6)
        排氣容量氬氣Pa?L(Torr?L)8.1×108(6.1×106)
        氫氣8.5×106(6.4×104)
        冷卻降下時間
        (電力循環(huán))        		min(Hz)150/135(50/60)
        吸氣口法蘭UVG-550
        壓縮機裝置C30VR×2
        質量Kg125.0

        *維護間隔：16,000小時

        U22H,U30是在貿(mào)易管理法規(guī)定中屬于戰(zhàn)略物資的出口管制品。
        在出日本國境時請務必辦理日本政府的出口許可申請等手續(xù)。

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